SEMITurnLab智慧半导体测试教学平台
SEMITurnLab是为高校集成电路相关核心课程实验教学设计的一体化教学设备,集成数字示波器、函数/信号发生器、台式数字万用表、可编程线性电源、源测量单元、LCR 数字电桥、数字 I/O 模块共 7 大仪器单元,配套一体化集成机柜、模块化实验夹具、9 大软件面板、实验指导书与课程 PPT,覆盖 10 项标准化基础实验项目。平台支持统一程控与多仪器协同,可完成集成电路相关核心课程实验教学。
SEMITurnLab智慧半导体测试教学平台
SEMITurnLab是为高校集成电路相关核心课程实验教学设计的一体化教学设备,集成数字示波器、函数/信号发生器、台式数字万用表、可编程线性电源、源测量单元、LCR 数字电桥、数字 I/O 模块共 7 大仪器单元,配套一体化集成机柜、模块化实验夹具、9 大软件面板、实验指导书与课程 PPT,覆盖 10 项标准化基础实验项目。平台支持统一程控与多仪器协同,可完成集成电路相关核心课程实验教学。
实验课程
一、精度要求持续提升:现代半导体行业对 PN 结直流特性测试精度要求持续提升,尤其针对微型芯片、低功耗传感器件等先进器件。
二、微小电流的测量痛点:反向漏电流低至 nA 级甚至 pA 级,普通万用表已无法精准测量,必须使用高精度源测单元(SMU)开展直流扫描测试。
三、变温直流特性测试的应用价值:变温直流特性测试可提取 PN 结温度系数,用于芯片热设计与高温可靠性评估,是半导体器件可靠性实验室的常规基础测试项目。
一、核心基础地位:BJT 直流参数测试是半导体器件优化、集成电路工艺迭代和功率电子可靠性研究的核心基础手段。
二、传统手册参数的局限:传统器件手册的标称直流参数为固定参考值,而实际应用中 BJT 的直流电流放大系数、穿透电流、饱和压降等参数会随温度、工作电压、器件工艺偏差、使用老化程度发生显著漂移。
三、漂移引发的实际问题:参数漂移极易造成电路静态工作点偏移、波形失真、功耗升高等问题。
四、精准实测的必要性:精准实测直流参数是高端模拟电路、精密测控电路设计的必要前提。
一、应用领域广泛:射频通信、高速数字电路、微波测控、精密模拟集成电路等领域对 BJT 的高频响应速度、带宽稳定性要求不断提高。
二、特征频率测试的作用:通过特征频率测试可有效评估半导体器件的载流子输运特性、工艺制造精度与高频可靠性。
三、测试的应用价值:为硅基、锗硅异质结高频晶体管的器件迭代、工艺改进以及高频电路系统的稳定性设计提供重要实验依据。
一、器件地位:MOSFET 是现代集成电路、新能源电力电子、射频通信与智能控制系统的核心器件,应用场景覆盖低压精密电路与高压功率变换设备。
二、参数漂移问题:实际工程中 MOSFET 的各项交直流参数并非固定不变,会受制造工艺偏差、工作温度、静态工作点以及器件老化的影响,导致标称参数与实际性能存在差异。
三、测试覆盖范围:通过测试 MOSFET 直流导通损耗、耐压特性、漏电流以及交流跨导、动态响应等关键参数,能够精准评估器件工作稳定性与使用可靠性。
四、测试应用价值:可为新型半导体器件研发、电路参数优化、工况适配设计以及设备长期可靠性分析提供重要的实验数据支撑。
一、行业趋势:随着高频化、小型化功率电子技术快速发展,对 MOSFET 开关速率、低损耗特性的要求不断提高。
二、动态开关特性测试的作用:通过动态开关特性测试,可以精准评估器件的高频适配能力与动态损耗特性。
三、测试的应用价值:为新型功率 MOS 器件性能分析、驱动参数匹配及高频电路可靠性设计提供重要实验依据。
一、应用价值:通过 C-V 特性精准标定势垒高度与掺杂分布,可有效抑制器件反向漏电流、优化开关损耗,解决变频器、快充电源等设备的高频失效问题。
二、宽禁带半导体的应用:在宽禁带半导体(碳化硅、氮化镓)新型肖特基器件研发中,C-V 测试是表征界面态、优化势垒结构、评估器件高温高压可靠性的核心无损检测手段。
三、技术支撑地位:是当前半导体工艺迭代、器件可靠性研究的重要技术支撑。
在宽禁带MOS器件、新型栅介质材料研发以及器件老化失效机理研究中,C-V参数表征是评估器件高温稳定性、抗辐射能力与界面可靠性的重要研究方法,具备极高的工程应用与科研价值。
一、行业趋势:随着精密检测、智能传感、高精度测控技术的快速发展,现代电子系统对信号处理的精度、稳定性和抗干扰性能要求持续提升。
二、研究重点:运放的参数匹配、温漂抑制、高频特性优化成为精密模拟电路的研究重点。
三、测试的意义与价值:通过开展运放参数测试实验,可精准掌握器件实际性能指标,为器件选型、电路误差分析、系统性能优化以及新型模拟集成电路的应用研究提供重要的实验支撑,具备重要的教学意义与工程科研价值。
一、行业背景:随着半导体工艺进入纳米尺度,短沟道效应愈发显著,器件非理想特性严重制约芯片性能与良率。
二、测试的必要性:现阶段先进工艺研发、器件可靠性分析、低功耗电路优化均依赖高精度短沟道参数测试。
三、测试的科研与工程价值:开展短沟道 MOSFET 交直流参数测试实验,对理解纳米器件物理、掌握先进器件测试方法、适配现代集成电路研发体系具有重要科研与工程价值。
一、行业背景:随着半导体工艺持续向深纳米、超微尺寸发展,短沟道效应愈发突出,器件高频开关损耗、动态可靠性问题成为制约芯片性能提升的主要瓶颈。
二、测试的必要性:现阶段先进集成电路设计、新型器件建模、高频系统可靠性优化,均依赖精准的动态开关特性测试。
三、测试的科研与工程价值:本实验对理解短沟道器件高频物理机制、掌握动态参数测试方法、适配现代微电子技术研发具有重要理论与工程价值。
硬件配置
硬件配置由一体化集成机柜、7 大仪器单元、模块化实验夹具、辅材与备件四部分组成。
★ 采用一体化集成设计,将电脑主机、显示器、测试仪器及教学软件集成于一体,整机结构紧凑、布线规整,便于实验室部署与日常维护。
★ 主控平台处理器不低于四核心,内存不低于 16 GB,固态硬盘不低于 240 GB,可流畅运行测试软件、教学资源平台及多仪器协同程序。
★ 内置不低于 21.5 英寸高清电容触控显示屏,分辨率不低于 1920 × 1080,支持通过屏幕直接完成测试参数设置、波形查看、数据记录等教学操作。
机柜内多仪器统一供电、信号互联、散热与结构整合优化;面板布置整齐、标识清晰,符合实验室安全与电磁兼容要求。

实验软件面板
软件包含九大模块:信号源、示波器、电源、万用表、源测量单元、I-V 测试仪、C-V 测试仪、LCR 表、数字 I/O。点击对应模块,可进行对应仪器的程控连接/断开、测试参数快速设置、通道使能、波形/曲线显示、数据导出等操作。各面板通过统一程控接口与硬件仪器通信,无需切换多个独立软件。
提供对应信号源仪器的参数设置功能。支持:通道使能、输出波形选择、频率设置、幅度设置、直流偏置设置、占空比设置等。
提供对应示波器的参数设置和测试数据展示功能。数据展示:通过波形展示,提供游标及差值计算功能,支持波形自动测量与数据导出。
提供对应电源的参数设置功能。支持:电源通道使能、电压值设置、电流值设置。
提供对应万用表的参数设置和测试数据展示功能。
提供对应 SMU 仪器的参数设置和测试数据展示功能。
提供 2 个 SMU 仪器的参数设置和测试数据展示功能。
提供对应 LCR 表和 SMU 仪器进行 C-V 测试的参数设置和测试数据展示功能。
提供对应 LCR 表的参数设置和测试数据展示功能。
参数设置:等效模型、量程、测试速度、电平、电压偏移、频率。
数据展示:通过测试值和图表方式展示。
可测试参数:|Z|、R、X、θ_deg、θ_rad、Vrms、Irms、Rs、Cs、Ls、Rp、Cp、Lp、Y、G、B、D、Q。
支持数字 I/O 模块的程控连接与断开操作;连接后显示当前 8 路输入与 8 路输出的状态。
功能介绍视频